晶圆表面检测机 Z21130


  设置装备摆设功效


   ⚪ 晶圆类:Mini LED晶圆、光敏二极管。

   ⚪ 正面:电极(缺陷、刮伤/刮痕、脏污、多金、鼓泡、偏向)发光区(多胞、剥落、磊晶、崩边、变形、残留)断绝槽(脏污、划裂、超标、划伤、崩缺)。
   ⚪ 背面:切割不良、高低点、崩缺、失晶。



  产品亮点


   ⚪ 搭配3种倍率镜组,利用者可针对晶粒或瑕疵尺寸选择检测倍率,体系搭配最小剖析度为0.5um,通常可以检测1.5um左右的瑕疵尺寸。

   ⚪ 利用先辈的打光成像技能,联合明暗光场方法和光源角度、亮度及取像形式,可对应差别品种缺陷成像。
   ⚪一切检测后果都市存档记载,提供瑕疵原始材料有助于剖析消费瑕疵上风